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发布日期:2021年12月01日

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SST系列中频磁控溅射电源

规格参数

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SST系列中频磁控溅射电源技术规格

      SST系列中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流输出频率40kHz。中频溅射电源以两个溅射靶作为负载,双靶交替工作,因此工作周期内每个溅射靶有一半以上的时间为反向电压,使靶材表面积累电荷充分泄放,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。

电源功率范围

2-120kW

输入电源

AC380V±10%三相四线制 50-60HZ

输出方式

准正弦波

输出频率

40kHz

输出电压

空载1200V[有效值]

输出特性

恒流/恒功率/恒压

灭弧时间

≤3μs

输出稳定率

1%

冷却方式

2-10kW风冷 20-120kW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃
环境湿度 相对湿度≤85%
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
水温 20-40℃
压力 0.15±0.05MPa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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